[27p-PB4-1~16] 13.5 Siプロセス技術

[27p-PB4-15] Bi原子細線構造を利用したSi中へのMnドーピング (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○（M1）坪松悟史^1,2，村田晃一^1,2，古谷野有²，日塔光一¹，三木一司^1,2 (物材機構¹，筑波大院数物²)

キーワード：Doping、Silicon、Mn