[27p-PB4-1~16] 13.5 Siプロセス技術

[27p-PB4-16] ヘリウムイオン顕微鏡を用いたタングステンピラーの作製および微細ヘリウムイオンビームと基板の相互作用 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○（P）小濱和之^1,2，飯島智彦¹，林田美咲¹，小川真一¹ (産総研¹，学振特別研究員²)

キーワード：HIM、ブリスタリング、エッチング