[27p-PB4-1~16] 13.5 Siプロセス技術

[27p-PB4-3] Alを用いたMIC法によるアモルファスSiの結晶化 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○飯島裕貴¹，高柳淳¹，武江敏範¹，神子公男²，弓野健太郎¹ (芝浦工大工¹，東大生研²)

キーワード：MIC、SC