[27p-PB4-1~16] 13.5 Siプロセス技術

[27p-PB4-8] Alダメージレス絶縁膜エッチング剤の開発 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○田湖次広^1,2，市野邦男²，木村真弓¹，松井篤史¹ (林純薬工業¹，鳥取大院工²)

キーワード：Alダメージレス絶縁膜エッチング剤、エッチング剤