[27p-PB5-1~13] 13.6 Siデバイス／集積化技術

[27p-PB5-10] 熱電変換素子に向けたGe/Si コアシェルナノワイヤの作製 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○小路智也¹，小寺哲夫^1,2，野口智弘¹，宇佐美浩一¹，河野行雄¹，小田俊理¹ (東工大量子ナノ研セ¹，さきがけ-JST²)

キーワード：ナノワイヤ、nanowires、Ge/Si