[27p-PB5-1~13] 13.6 Siデバイス／集積化技術

[27p-PB5-9] Si/SiGe系非対称2重量子井戸n-RTD (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○（M1）渡邉嵩也，須田良幸 (東京農工大　院工)

キーワード：共鳴トンネルダイオード、シリコン、分子線エピタキシー法