2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

08.プラズマエレクトロニクス » 8.6 プラズマ現象・新応用・融合分野

[28a-A10-1~7] 8.6 プラズマ現象・新応用・融合分野

2013年3月28日(木) 09:00 〜 10:45 A10 (K1号館 12F-1201)

[28a-A10-2] CH2F2への電子衝突によるラジカル生成断面積の評価 (9:15 AM ~ 9:30 AM)

小川勇人1,豊田浩孝1,2 (名大工1,名大プラズマナノ工学センター2)

キーワード:電子衝突断面積