[28a-A10-1~7] 8.6 プラズマ現象･新応用･融合分野

[28a-A10-2] CH2F2への電子衝突によるラジカル生成断面積の評価 (9:15 AM ～ 9:30 AM)

^○小川勇人¹，豊田浩孝^1,2 (名大工¹，名大プラズマナノ工学センター²)

キーワード：電子衝突断面積