[28a-A2-1~9] 3.4 計測光学

[28a-A2-1] シリカ微小球共振器を用いた超純水イオン含有率評価の予備的検討 (9:30 AM ～ 9:45 AM)

^○西村治郎，田邉孝純 (慶大理工)

キーワード：共振器、センシング、超純水