[28a-A3-1~9] 16.1 基礎物性・評価

[28a-A3-7] 水素化非晶質シリコン薄膜の膜中水素挙動 (11:45 AM ～ 12:00 AM)

^○今澤貴史，仲村恵右 (三菱電機)

キーワード：非晶質シリコン、膜中水素