[28a-A4-1~10] 16.3 シリコン系太陽電池

[28a-A4-3] △実時間分光エリプソメトリーおよび赤外分光によるa-SiC:H/a-Si:H界面構造の評価 (9:45 AM ～ 10:00 AM)

^○佐藤正規，藤原裕之 (岐阜大)

キーワード：分光エリプソメトリー、赤外分光、界面構造