[28a-A4-1~10] 16.3 シリコン系太陽電池

[28a-A4-8] ▲液体原料を用いた蒸着法による常圧でのa-Si:H膜の作製(メカニズム) (11:15 AM ～ 11:30 AM)

^○申仲栄^1,2，増田貴史^1,3，高岸秀行^1,2，Lam Pham Tien^1,2，大平圭介^1,2，下田達也^1,2,3 (北陸先端大¹，JST-ALCA²，JST-ERATO³)

キーワード：amorphous silicon film