[28a-A5-1~6] 8.4 プラズマエッチング

[28a-A5-2] 第一原理電子状態計算による中性粒子ビーム生成メカニズムの解析VII (9:30 AM ～ 9:45 AM)

^○渡辺尚貴¹，大塚晋吾¹，岩崎拓也¹，小野耕平¹，入江康郎¹，植木真治²，額賀理³，杉山正和^2,4，久保田智広^2,5，寒川誠二^2,5 (みずほ情報総研¹，BEANSプロジェクト 3D BEANSセンター²，フジクラ³，東大⁴，東北大⁵)

キーワード：Kohn-Sham、DFT