[28a-A5-1~6] 8.4 プラズマエッチング

[28a-A5-3] 中性粒子ビームエッチングモデルと加工形状解析(3) (9:45 AM ～ 10:00 AM)

^○大塚晋吾¹，渡辺尚貴¹，岩崎拓也¹，小野耕平¹，入江康郎¹，望月俊輔²，三輪和弘³，杉山正和^3,4，久保田智弘^3,5，寒川誠二^3,5 (みずほ情報総研㈱¹，数理システム²，BEANSプロジェクト 3D BEANSセンター³，東大⁴，東北大⁵)

キーワード：中性粒子ビーム