[28a-A6-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

[28a-A6-1] △軟X線照射による水素化DLC膜の改質過程 (9:00 AM ～ 9:15 AM)

^○今井亮，新部正人，神田一浩 (兵庫県立大高度研)

キーワード：DLC、軟X線