[28a-A6-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

[28a-A6-6] △細孔底面への水素フリーDLC膜の成膜速度の向上 (10:30 AM ～ 10:45 AM)

^○森田悠介¹，田上英人¹，須田善行¹，滝川浩史¹，神谷雅男²，瀧真³，長谷川祐史³，辻信広³，サーレ アブスアイリキ⁴ (豊橋技科大¹，伊藤光学工業²，オンワード技研³，日立ツール⁴)

キーワード：Diamond-lke carbon、細孔底面