[28a-A6-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

[28a-A6-7] △Siウエハ上への水素フリーDLC膜の均一形成と微細パターン加工 (10:45 AM ～ 11:00 AM)

^○細尾倫成¹，田上英人¹，須田善行¹，滝川浩史¹，川島貴弘¹，柴田隆行¹，神谷雅男²，瀧真³，長谷川祐史³，サーレ アブスアイリキ⁴，辻信弘³ (豊橋技科大¹，伊藤光学工業²，オンワード技研³，日立ツール⁴)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、微細加工、均一成膜