[28a-D3-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

[28a-D3-5] RFプレーナマグネトロンスパッタ法を用いたエピタキシャルBiFeO₃薄膜の作製(III) (11:00 AM ～ 11:15 AM)

^○内田智久¹，高田祐介¹，伊藤太紀¹，榎本裕也¹，貴傳名健吾¹，中嶋誠二¹，藤沢浩訓¹，小舟正文¹，坂田修身²，勝矢良雄²，清水勝¹ (兵庫県大工¹，NIMS/SPring-8²)

キーワード：BiFeO3、multiferroic