[28a-D3-8] (111)配向BiFeO3系マルチフェロイック薄膜の低温形成 －スパッタリング成膜中におけるVHFプラズマ照射の効果－ (12:00 PM ～ 12:15 AM)
キーワード：マルチフェロイック薄膜、VHFプラズマ照射
講演情報
一般セッション(口頭講演)
06．薄膜・表面 » 6.1 強誘電体薄膜
[28a-D3-1~10] 6.1 強誘電体薄膜
2013年3月28日(木) 10:00 〜 12:45 D3 (C5号館 3F-324)
一般セッション(口頭講演)
06．薄膜・表面 » 6.1 強誘電体薄膜
2013年3月28日(木) 10:00 〜 12:45 D3 (C5号館 3F-324)
キーワード：マルチフェロイック薄膜、VHFプラズマ照射