[28a-G10-1~11] 17.4 デバイス応用

[28a-G10-10] △3次元LSI配線のための層数確定多層グラフェンの電気抵抗測定 (11:30 AM ～ 11:45 AM)

^○伊藤和幸¹，片桐雅之²，酒井忠司²，粟野祐二¹ (慶大¹，超低電圧デバイス技術研究組合²)

キーワード：グラフェン、配線、抵抗率