PDF ダウンロード スケジュール 2 いいね! 2 [28a-G12-11] スパッタ堆積Ni極薄膜の電気伝導性その場評価 (11:45 AM ~ 12:00 AM) ○楠本雄司1,松本康平1,関家一樹1,小路紘史1,古田寛1,2,八田章光1,2 (高知工科大1,高知工科大ナノテク研2) キーワード:触媒微粒子、電気伝導性 その場評価、マグネトロンスパッタリング