2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

17.ナノカーボン » 17.1 成長技術

[28a-G12-1~11] 17.1 成長技術

2013年3月28日(木) 09:00 〜 12:00 G12 (B5号館 2F-2206)

[28a-G12-11] スパッタ堆積Ni極薄膜の電気伝導性その場評価 (11:45 AM ~ 12:00 AM)

楠本雄司1,松本康平1,関家一樹1,小路紘史1,古田寛1,2,八田章光1,2 (高知工科大1,高知工科大ナノテク研2)

キーワード:触媒微粒子、電気伝導性 その場評価、マグネトロンスパッタリング