2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.3 絶縁膜技術

[28a-G2-1~12] 13.3 絶縁膜技術

2013年3月28日(木) 10:00 〜 13:15 G2 (B5号館 1F-2102)

[28a-G2-8] △H2O分圧によるPr価数およびPr酸化膜の結晶構造制御 (12:00 PM ~ 12:15 AM)

加藤公彦1,2,坂下満男1,竹内和歌奈1,田岡紀之1,中塚理1,財満鎭明1 (名大院工1,学振特別研究員2)

キーワード:Pr酸化膜、価数、ケッショウコウゾウ