PDF ダウンロード スケジュール 4 いいね! 0 [28a-G21-10] △Ga-Al液相法により成長したAlN膜の極性反転構造 (11:30 AM ~ 11:45 AM) ○安達正芳1,津田健治1,渡邊郁磨1,杉山正史2,飯田潤二2,田中明和2,福山博之1 (東北大多元研1,住友金属鉱山2) キーワード:窒化アルミニウム、液相成長