2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[28a-G21-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

2013年3月28日(木) 09:00 〜 12:00 G21 (B5号館 4F-2405)

[28a-G21-10] △Ga-Al液相法により成長したAlN膜の極性反転構造 (11:30 AM ~ 11:45 AM)

安達正芳1,津田健治1,渡邊郁磨1,杉山正史2,飯田潤二2,田中明和2,福山博之1 (東北大多元研1,住友金属鉱山2)

キーワード:窒化アルミニウム、液相成長