[28a-G6-1~11] 13.5 Siプロセス技術

[28a-G6-5] ミニマルファブにおけるウェハ搬送システム (11:00 AM ～ 11:15 AM)

^○前川仁^{1, 2}，ソマワン クンプアン^{1, 2}，原史朗^{1, 2} (産総研¹，ミニマルファブ技術研究組合²)

キーワード：ミニマル、搬送、局所クリーン化