[28a-G6-1~11] 13.5 Siプロセス技術

[28a-G6-7] 周波数変調出力方式の薄膜フォトセンサ (11:30 AM ～ 11:45 AM)

門目尭之，松村篤，東山剛士，大山翔平，松田時宜，^○木村睦 (龍谷大理工)

キーワード：薄膜フォトセンサ、周波数変調出力方式