[28a-PA2-1~14] 7. ビーム応用

[28a-PA2-14] ガスクラスターイオンビームによるDSPCの深さ方向SIMS分析 (9:30 AM ～ 11:30 AM)

^○中川駿一郎¹，瀬木利夫^1,2，青木学聡^1,2，松尾二郎^1,2 (京大院工¹，JST－CREST²)

キーワード：SIMS