[28a-PA2-1~14] 7. ビーム応用

[28a-PA2-8] △現像アナライザーによるポリマーバウンドPAGレジストとポリマーブレンドPAGレジストの現像挙動に関する研究 (9:30 AM ～ 11:30 AM)

^○山本洋揮^1,2，古澤孝弘^1,2，田川精一^1,2 (阪大産研¹，JST-CREST²)

キーワード：レジスト溶解挙動、ポリマーバウンドPAGレジスト、ポリマーブレンドPAGレジスト