[28p-A10-2~8] ナノ界面プラズマの科学と応用展開

[28p-A10-8] まとめ：超臨界クラスター流体の材料科学 －プラズマプロセスのナノスケール揺らぎ－（30分） (5:45 PM ～ 6:15 PM)

^○寺嶋和夫，宗岡均，占部継一郎，Sven Stauss (東大院新領域)

キーワード：揺らぎ、超臨界流体、プラズマプロセス