[28p-A3-1~17] 16.1 基礎物性・評価

[28p-A3-1] 液体プロセス向けITO前駆体溶液の構造解析 (2:00 PM ～ 2:15 PM)

^○村上嘉崇^1,2，廣瀬大亮¹，下田達也^1,3 (北陸先端大¹，JSR²，JST-ERATO³)

キーワード：ITO、液体プロセス、質量分析