[28p-A4-1~20] 16.3 シリコン系太陽電池

[28p-A4-2] 水蒸気添加RFマグネトロンスパッタリング法によるZnO:Al薄膜上のテクスチャ制御 (1:45 PM ～ 2:00 PM)

^○三浦修平，熊澤輝顕，田代真樹，野々村修一 (岐大院工)

キーワード：酸化亜鉛、テクスチャ、透明導電酸化膜