[28p-A6-1~8] 6.2 カーボン系薄膜

[28p-A6-5] バンド型スーパーマグネトロンプラズマによるa-CNx:H膜のCVD（Ⅱ） (2:30 PM ～ 2:45 PM)

^○木下治久，八木俊輔，櫻井一輝 (静大電子研)

キーワード：スーパーマグネトロンプラズマ