[28p-A6-1~8] 6.2 カーボン系薄膜

[28p-A6-6] アモルファス窒化炭素薄膜の窒素源について (2:45 PM ～ 3:00 PM)

^○伊藤治彦，山元愛弓，Izzaty Nurul，鈴木常生 (長岡技科大（工）)

キーワード：アモルファス窒化炭素、プラズマ分光