[28p-A6-1~8] 6.2 カーボン系薄膜

[28p-A6-7] 超硬基板上に堆積したＢＮ薄膜の軟Ｘ線吸収法による評価 (3:00 PM ～ 3:15 PM)

^○新部正人¹，小高拓也¹，神宮司敏²，井上尚三² (兵庫県大高度研¹，兵庫県立大院工²)

キーワード：BN薄膜、NEXAFS、超硬