2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

07.ビーム応用 » 7.1 X線技術

[28p-B1-1~16] 7.1 X線技術

2013年3月28日(木) 13:30 〜 17:45 B1 (K2号館 3F-1301)

[28p-B1-3] プラズマEUV光源の最適化のためのスペクトルモデリング (2:00 PM ~ 2:15 PM)

佐々木明 (原子力機構)

キーワード:EUV、レーザープラズマ、モデリング