[28p-B2-1~13] 7.3 リソグラフィ

[28p-B2-1] ｢講演奨励賞受賞記念講演｣（15分）
集束イオンビーム実時間照射量制御によるオーバーハング微細構造の長尺作製 (1:30 PM ～ 1:45 PM)

^○郭登極，米谷玲皇，割澤伸一，石原直 (東大工)

キーワード：集束イオンビーム化学気相成長法、実時間照射量制御、長尺