[28p-B2-1~13] 7.3 リソグラフィ

[28p-B2-4] 四列屈折率分布型レンズアレイの使用によるパターン線幅異方性の解消 (2:15 PM ～ 2:30 PM)

^○堀内敏行，鈴木岳，小林宏史 (東京電機大院工)

キーワード：屈折率分布型レンズアレイ、走査投影露光、異方性