[28p-B2-1~13] 7.3 リソグラフィ

[28p-B2-9] EUV レジストの高感度化について (3:45 PM ～ 4:00 PM)

^○渡邊健夫¹，江村和也¹，塩野大寿²，春山雄一¹，大森克美²，佐藤和史²，原田哲男¹，木下博雄¹ (兵庫県立大高度研¹，東京応化工業²)

キーワード：EUVリソグラフィ、EUVレジスト、SR吸収分光