[28p-B7-6~13] 1.7 計測技術

[28p-B7-12] 非接触3次元白色光干渉粗さ計による圧電特性の面内分布測定 (4:30 PM ～ 4:45 PM)

^○關雅志¹，花田明紘¹，三浦寛基¹，木下健太郎^1,2，岸田悟^1,2 (鳥取大工¹，TEDREC²)

キーワード：面内分布、圧電特性