PDF ダウンロード スケジュール 0 いいね! 1 [28p-B7-13] Heを用いた大きなリーク検査方法の検討 (4:45 PM ~ 5:00 PM) ○衣川勝 (三菱電機先端総研) キーワード:リーク、気密封止、ヘリウム