[28p-B7-6~13] 1.7 計測技術

[28p-B7-13] Heを用いた大きなリーク検査方法の検討 (4:45 PM ～ 5:00 PM)

^○衣川勝 (三菱電機先端総研)

キーワード：リーク、気密封止、ヘリウム