[28p-B8-1~12] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[28p-B8-11] ＶＬＳ法によるナノワイヤ成長　拡散抑制層追加による成長の改善 (5:15 PM ～ 5:30 PM)

^○古藤誠¹，清水智弘²，新宮原正三² (キヤノン¹，関西大²)

キーワード：Nanowire、VLS