[28p-B9-1~10] 9.3 ナノエレクトロニクス

[28p-B9-8] △結晶粒界近傍におけるエレクトロマイグレーションのその場観察 (4:30 PM ～ 4:45 PM)

^○村上暢介¹，越智隼人¹，有田正志¹，浜田弘一¹，高橋庸夫¹，竹田精治² (北大院情報¹，阪大産研²)

キーワード：エレクトロマイグレーション、透過型電子顕微鏡