2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

09.応用物性 » 9.3 ナノエレクトロニクス

[28p-B9-1~10] 9.3 ナノエレクトロニクス

2013年3月28日(木) 14:30 〜 17:15 B9 (K2号館 4F-1407)

[28p-B9-9] 集積化ナノギャップでのエレクトロマイグレーションによる数nm級ギャップ制御の検討 (4:45 PM ~ 5:00 PM)

平田晃大,須田隆太郎,伊藤光樹,石井聡一,白樫淳一 (東京農工大院工)

キーワード:エレクトロマイグレーション、集積化、ナノギャップ