PDF ダウンロード スケジュール 0 いいね! 0 [28p-B9-9] 集積化ナノギャップでのエレクトロマイグレーションによる数nm級ギャップ制御の検討 (4:45 PM ~ 5:00 PM) ○平田晃大,須田隆太郎,伊藤光樹,石井聡一,白樫淳一 (東京農工大院工) キーワード:エレクトロマイグレーション、集積化、ナノギャップ