[28p-C1-1~20] 4.2 フォトニックナノ構造・現象

[28p-C1-9] △3方向同時エッチング法による可視光域3次元フォトニック結晶の開発 (3:30 PM ～ 3:45 PM)

^○北野圭輔，鈴木克佳，石崎賢司，権平皓，野田進 (京大院工)

キーワード：3次元フォトニック結晶、プラズマエッチング