[28p-D3-1~17] 6.1 強誘電体薄膜

[28p-D3-11] BiFeO₃薄膜を用いたMEMS振動発電素子の発電特性 (4:45 PM ～ 5:00 PM)

^○若園佳佑¹，苅谷健人¹，吉村武¹，村上修一²，藤村紀文¹ (大阪府立大¹，大阪府立産業技術総合研究所²)

キーワード：エナジーハーベスター、BiFeO3、圧電