[28p-D3-1~17] 6.1 強誘電体薄膜

[28p-D3-17] PFMを用いた強誘電体薄膜の面内および鉛直方向の圧電性評価 (6:30 PM ～ 6:45 PM)

^○瀬戸翔太，高田祐介，中嶋誠二，藤沢浩訓，清水勝 (兵庫県立大工)

キーワード：圧電