[28p-D3-1~17] 6.1 強誘電体薄膜

[28p-D3-2] ゾルゲル法によるPbZrxTi1-xO3膜作製時の応力発生 (2:15 PM ～ 2:30 PM)

^○土井利浩，桜井英章，曽山信幸 (三菱マテリアル)

キーワード：チタン酸ジルコン酸鉛、ゾルゲル、膜