[28p-D3-1~17] 6.1 強誘電体薄膜

[28p-D3-4] △収束イオンビーム加工によるPb(Zr,Ti)O₃薄膜アイランドの作製と回復アニール (2:45 PM ～ 3:00 PM)

^○田中春輝¹，山形直也¹，中嶋宇史²，飯島高志³，岡村総一郎¹ (東理大理¹，東北大金研²，産総研³)

キーワード：収束イオンビーム、回復アニール、PZT