[28p-D3-1~17] 6.1 強誘電体薄膜

[28p-D3-7] テトラ組成PZT薄膜の配向性、強誘電・圧電特性に高電圧印加が与える影響 (3:45 PM ～ 4:00 PM)

^○牧本なつみ¹，前田龍太郎¹，及川貴弘²，和田亜由美²，舟窪浩²，小林健¹ (産総研¹，東工大²)

キーワード：piezoelectric MEMS