[28p-D3-1~17] 6.1 強誘電体薄膜

[28p-D3-8] 微細加工したMPB組成PZT薄膜の圧電特性に高電圧印加が与える影響 (4:00 PM ～ 4:15 PM)

^○小林健¹，牧本なつみ¹，前田龍太郎¹，及川貴弘²，和田亜由美²，舟窪浩² (産総研¹，東工大²)

キーワード：piezoelectric MEMS