[28p-D3-1~17] 6.1 強誘電体薄膜

[28p-D3-9] △マイクロカンチレバー上MPB組成PZT薄膜に対する高電圧印加の影響 (4:15 PM ～ 4:30 PM)

^○水嵜英明¹，牧本なつみ²，前田龍太郎²，及川貴弘³，和田亜由美³，舟窪浩³，小林健² (長野県工技セ¹，産総研²，東工大³)

キーワード：piezoelectric MEMS