[28p-F2-1~19] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[28p-F2-16] 固体電解質Li₃PO_4-xN_x(LiPON)薄膜作製条件の検討 (6:00 PM ～ 6:15 PM)

^○熊谷明哉，清水亮太，大澤健男，鈴木竜，白木将，一杉太郎 (東北大　WPI-AIMR)

キーワード：酸化物薄膜